| 项目 | 参数 |
| 稀释气体种类 | 高纯空气、高纯氮气 |
| 使用压力 | （0.1~0.3）MPa |
| 标气流量范围 | （0~100）SCCM； |
| （0~1000）SCCM； | |
| （0~5000）SCCM，可选 | |
| 稀释气流量范围 | （0~100）SCCM； |
| （0~1000）SCCM； | |
| （0~5000）SCCM，可选 | |
| 流量准确度 | ±1% F.S. （10 to 100 F.S.） |
| 流量重复性 | ±0.2%F.S. |
| 稀释比 | 根据流量计配置而定 |
| 标气入口数量 | 1个 |
| 标气输出接口数量 | 1个 |
| 标气输出接口 | 6mm卡套接头 |
| 电源输入 | 220VAC，50Hz |
| 操作温度 | 5 oC~35 oC |
| 工作湿度 | 5%~95% RH |
| 通讯 | LAN；RS485 |
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